結果真空滲碳為真空滲碳一淬火工藝曲線。在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使表面凈化、附近活化之后，通入稀薄滲碳富化氣(見控制氣氛熱處理)，在大約1330Pa(10T0rr)負壓下進行滲入，然后停氣(降壓)進行擴散。滲碳后的精密鋼管淬火采用一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點A，、附近以下，使內部發生相變，再停氣、附近開泵，升溫到Ac1，～Accm之間。淬冷方法可采用氣冷或油冷。后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入油。真空滲碳的溫度一般高于普通氣體滲碳，常采用920～1040℃滲入和擴散可按所示分兩階段，也可用脈沖式通氣、附近停氣，多段式的滲一擴相間，效果更好。由于溫度高，尤其表面潔凈、附近有活性，真空滲碳層形成速度比普通氣體、附近液體和固體滲碳快，如要求滲層為1mm時，在927℃只需5h，而1033℃僅需1h。真空退火優質彈簧鋼、附近工具鋼、附近精密鋼管的絲材，不銹鋼制品及鈦合金材，作光亮退火均可采用真空處理。退火溫度愈低，則要求真空度愈高。為防止鉻的蒸發及加速熱傳導，一般采用載氣加熱(保溫)法，并注意對不銹鋼和鈦合金不宜用氮而應采用氬氣。