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在大約1330Pa(10T0rr)負壓下中止滲入，然后停氣(降壓)中止擴散。滲碳后的精密鋼管淬火采用一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點A，以下，使內部發作相變，再停氣，開泵，升溫到Ac1，～Accm之間。淬冷方法可采用氣冷或油冷。后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入油。真空滲碳的溫度普通高于普通氣體滲碳。結果真空滲碳為真空滲碳一淬火工藝曲線。通入稀薄滲碳富化氣(見控制氣氛熱處置)活化之后在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使表面凈化常采用920～1040℃滲入和擴散可按所示分兩階段，也可用脈沖式通氣，停氣，多段式的滲一擴相間，效果更好。由于溫度高，特別表面潔凈，有活性，真空滲碳層構成速度比普通氣體，液體和固體滲碳快，如懇求滲層為1mm時，在927℃只需5h，而1033℃僅需1h。
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