模具熱處理過程中，所采用的工藝參數對模具性能也有著至關重要的影響：它包括了加熱溫度、加熱速度、保溫時間、冷卻方式、冷卻速度等。正確的熱處理工藝參數可以保證模具獲得 性能，反之，將產生不良甚至嚴重后果。實踐表明，正確的熱處理工藝可以獲得優良的組織，優良的組織形態才能保證優良的機械性能。合適的工藝方法可以有效的控制模具熱處理時的變形和開裂。從實踐中發現：模具在加熱和冷卻過程中，模具表面溫度和心部溫度的差異(加熱的不均勻性和冷卻的不均勻性)是造成模具變形的主要因素。(真空爐具有控制加熱速度和冷卻速度的能力)。不同的工藝方法可以使模具滿足不同的使用條件和不同的性能要求。從模具的使用壽命來看，滿足硬度的要求只是達到模具技術要求的一個方面，它還有些性能要求是不好測量的，如強度韌性等等。模具質量的好壞并不能完全用硬度指標來進行認定，它不可能用硬度測量方法終來檢驗出模具的使用壽命，熱處理作為特殊工序(即特殊過程)，它只能通過工藝驗證，性能實驗，確認合理的工藝參數，并嚴格實施經確認的工藝參數(工序過程控制)來保證產品質量的可靠性和穩定性。大量數據表明，真空熱處理加工的冷沖模具變形較小、很少發生線切割開裂、磨裂的現象。壓鑄模采用先進的工藝方法，在一定程度上減少模具的龜裂以及使用中粘模的現象。總而言之，真空高壓氣淬工藝具有加熱和冷卻速度自由控制的優點，可以編制不同的工藝參數，得到預想的金相組織和性能。