光氧廢氣處理設備氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。 光氧廢氣處理設備 特點：① 采用單級或多級串聯洗滌，對污染物去除徹底，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優勢，運行穩定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理。活性炭除臭設備采取切線出風、環狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結構，克服了傳統的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設備結構設計近乎于完美。

揮發性有機廢氣經系統風機推進或者吸入RTO進口集風管，切換閥引導氣體進入蓄熱床，氣體在經由陶瓷蓄熱床到燃燒室的過程中被逐漸預熱，在燃燒室高溫(約800℃)氧化分解，凈化后的高溫尾氣在通過另一陶瓷蓄熱床時會將熱量留在其中，使得出口處的蓄熱床得到加熱，凈化尾氣得到降溫，使得出口溫度略高于RTO進口溫度，通常情況下溫升高不超過50-70℃。 切換閥改變氣流進入蓄熱床的方向，實現蓄熱區與放熱區的交替轉換，實現大化回收焚化爐內的熱量，高熱能回收率降低了燃料的需求節省了運行本錢。當系統VOC濃度大于矜持濃度(甲苯1200mg/m3、二甲苯1100mg/m3)時，RTO即不需輔助燃料便能夠維持VOC氧化分解前提，同時可對外輸出系統余熱。 催化熱力燃燒工藝是涂裝行業這類廢氣成分穩定復雜、廢氣濃度高、粉塵含量高的工況首先治理技術，其凈化效果非常理想，凈化效果比較徹底，無或很少二次污染物產生，若是能做到處理過程中熱量回收利用，那便可以省一筆不菲運營成本。活性炭吸附脫附只針對于那些低濃度小風量工況項目，這樣從企業角度來講降低企業上環保設備的*成本，在運營后期相對于催化熱力燃燒來講，也比較劃算，是除了催化熱力燃燒之外，涂裝噴漆廢氣處理工藝的好選擇。