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真空退火優質彈簧鋼、工具鋼、精密鋼管的絲材，不銹鋼制品及鈦合金材，作光亮退火均可采用真空處理。退火溫度愈低，則要求真空度愈高。為防止鉻的蒸發及加速熱傳導，一般采用載氣加熱(保溫)法，并注意對不銹鋼和鈦合金不宜用氮而應采用氬氣。
過程
真空淬火真空淬火爐按冷卻方法分為油淬和氣淬兩類，按工位數分為單室式和雙室式，904山\畏嘲均屬周期式作業爐。真空油淬爐都是雙室的，后室置電加熱元件，前室的下方置油槽。工件完成加熱、保溫后移入前室，關閉中門后向前室充入惰性氣至大約2．66%26times;lO ～1．01%26times;10 Pa(200～760mm汞柱)，入油。油淬易引起工件表面變質。由于表面活性大，在短暫的高溫油膜作用下即可發生顯著薄層滲碳，此外，碳黑和油在表面的粘附對簡化熱處理流程很不利。真空淬火技術的發展主要在于研制性能優良、工位單一的氣冷淬火爐。前述雙室式爐亦可用于氣淬(在前室噴氣冷卻)，但雙工位式的操作使大批量裝爐的生產發生困難，也易在高溫移動中引起工件變形或改變工件方位增加淬火變形。單一工位的氣冷淬火爐是在加熱保溫完成后在加熱室內噴氣冷卻。氣冷的冷速不如油冷快，也低于傳統淬火法中的熔鹽等溫、分級淬火。因而，不斷提高噴冷室壓力，增大流量，以及采用摩爾質量比氮和氬小的惰性氣體氦和氫，是當今真空淬火技術發展的主流。70年代后期將氮氣噴冷的壓力從(1～2)%26times;10Pa提高到(5～6)%26times;10Pa，使冷卻能力接近于常壓下的油冷。80年代中期出現超高壓氣淬，用(10～20)%26times;10Pa的氦，冷卻能力等于或略高于油淬，已進入工業實用。90年代初采用40%26times;10Pa的氫氣，接近水淬的冷卻能力，尚處于起步階段。工業發達已進展到以高壓(5～6)%26times;10。Pa氣淬為主體，而中國產氣淬一些金屬的蒸氣壓(理論值)與溫度的關系則尚處于一般加壓氣淬(2%26times;10Pa)型階段。
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