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將淬火成馬氏體的20G高壓鍋爐管加熱到臨界點以下某個溫度，保溫適當時間，再冷到室溫的一種熱處理工藝。回火的目的在于淬火應力，使高壓鍋爐管的組織轉變為相對穩定狀態。在不降低或適當降低鋼管的硬度和強度的條件下改善鋼的塑性和韌性，以獲得所希望的性能。中碳和高碳鋼淬火后通常硬度很高，但很脆，一般需經回火處理才能使用。高壓鋼管中的淬火馬氏體，是碳在-Fe中的過飽和固溶體，具有體心正方結構，其正方度/隨含碳量的增加而增大。馬氏體組織在熱力學上是不穩定的，有向穩定組織過渡的趨勢。許多鋼淬火后還有一定量的殘留奧氏體，也是不穩定的，回火過程中將發生轉變。因此，回火過程本質上是在一定溫度范圍內加熱粹火20G高壓鍋爐管，使鋼中的熱力學不穩定組織結構向穩定狀態過渡的復雜轉變過程。轉變的內容和形式則視淬火高壓鍋爐管的化學成分和組織，以及加熱溫度而有所不同。
結果真空滲碳為真空滲碳一淬火工藝曲線。在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使表面凈化、活化之后，通入稀薄滲碳富化氣(見控制氣氛熱處理)，在大約1330Pa(10T0rr)負壓下進行滲入，然后停氣(降壓)進行擴散。滲碳后的精密鋼管淬火采用一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點A，、以下，使內部發生相變，再停氣、開泵，升溫到Ac1，～Accm之間。淬冷方法可采用氣冷或油冷。后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入油。真空滲碳的溫度一般高于普通氣體滲碳，常采用920～1040℃滲入和擴散可按所示分兩階段，也可用脈沖式通氣、停氣，多段式的滲一擴相間，效果更好。由于溫度高，尤其表面潔凈、有活性，真空滲碳層形成速度比普通氣體、液體和固體滲碳快，如要求滲層為1mm時，在927℃只需5h，而1033℃僅需1h。
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